| 发明名称 | 一种具有曝光功能的涂胶显影机 | ||
| 摘要 | 一种具有曝光功能的涂胶显影机，集涂胶、曝光和显影功能于一体，至少包括涂胶单元、曝光单元、显影单元以及晶片承载装置，所述涂胶单元、曝光单元和显影单元通过具有固定、加热和旋转晶片功能的晶片承载装置作为载体，进行涂胶、曝光和显影的循环操作。所述具有曝光功能的涂胶显影机为一体机，提高了晶片生产的自动化程度，其可同时作业多片晶片，提高了晶片的生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN204155062U | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
| 申请号 | CN201420652598.8 | 申请日期 | 2014.11.05 |
| 申请人 | 安徽三安光电有限公司 | 发明人 | 蔡家豪;王兵;陈松;吕荣英;段伟 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G03F7/30(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种具有曝光功能的涂胶显影机，至少包括涂胶单元、曝光单元、显影单元以及晶片承载装置，所述涂胶单元、曝光单元和显影单元通过具有固定、加热和旋转晶片功能的晶片承载装置作为载体，进行涂胶、曝光和显影的循环操作，实现集涂胶、曝光和显影功能于一体。 | ||
| 地址 | 241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号 | ||