发明名称 固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法
摘要 本发明提供能够使受光灵敏度提高固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法。通过本发明的一个实施方式提供固体摄像装置。固体摄像装置具备半导体层、反射板及元件分离区域。半导体层中二维阵列状地排列有多个光电转换元件。反射板覆盖半导体层的与光入射的面相反的面一侧并反射光。元件分离区域设为从半导体层的光入射的面起至到达反射板的深度为止,以便按每个光电转换元件划分半导体层,该元件分离区域使光电转换元件彼此电气性地元件分离并且具有光的反射面。
申请公布号 CN104347652A 申请公布日期 2015.02.11
申请号 CN201410082926.X 申请日期 2014.03.07
申请人 株式会社东芝 发明人 南孝明;广冈昭一
分类号 H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 房永峰
主权项 一种固体摄像装置,其特征在于,具备:半导体层,二维阵列状地排列有多个光电转换元件;反射板,覆盖所述半导体层的与光入射的面相反的面一侧,且反射光;以及元件分离区域,设为从所述半导体层的光入射的面起至到达所述反射板的深度为止,以便按每个所述光电转换元件划分所述半导体层,该元件分离区域使所述光电转换元件彼此物理性以及电气性地元件分离,并且具有光的反射面。
地址 日本东京都