一种研磨垫调整器

摘要

本实用新型提供一种研磨垫调整器，包括：研磨垫调整器手臂，以及藉由多根联轴连接于所述研磨垫调整器手臂上的多个研磨盘；所述多根联轴连接有用于分别控制各研磨盘的自转的第一动力装置、用于分别控制各研磨盘的升降的第二动力装置，以及用于控制至少一个研磨盘在所述研磨垫调整器手臂上移动的第三动力装置。本实用新型的研磨垫调整器采用多个研磨盘，并以压缩空气分别控制研磨盘的升降，利用各研磨盘的研磨速率不同来调节研磨速率，使研磨速率保持稳定，同时利用研磨盘的水平移动实现更大范围的研磨垫表面修整及表面颗粒清洁工作，进一步提高研磨的均匀性和研磨质量。同时，研磨盘在整个生命周期中都能被充分利用，大大节约了资源和成本。

主权项

一种研磨垫调整器，其特征在于，所述研磨垫调整器至少包括：研磨垫调整器手臂，以及藉由多根联轴连接于所述研磨垫调整器手臂上的多个研磨盘；所述多根联轴连接有用于分别控制各研磨盘的自转的第一动力装置、用于分别控制各研磨盘的升降的第二动力装置，以及用于控制至少一个研磨盘在所述研磨垫调整器手臂上移动的第三动力装置。