功率器件的铝插塞制作方法

摘要

本发明提出一种功率器件的铝插塞制作方法，包括下列步骤：提供一半导体衬底；在所述半导体衬底上沉积绝缘层；在所述绝缘层上沉积钝化层；分别对钝化层、绝缘层和半导体衬底进行蚀刻形成杯型接触孔；在所述杯型接触孔内及钝化层表面上沉积扩散阻挡层；在接触孔内填充金属铝以形成铝插塞，其中所述杯型接触孔的顶部宽度大于底部宽度。本发明提出的功率器件的铝插塞制作方法，其能够有效降低生产成本，并且具有良好的电阻特性。

主权项

一种功率器件的铝插塞制作方法，包括下列步骤：提供一半导体衬底；在所述半导体衬底上沉积绝缘层；在所述绝缘层上沉积钝化层；分别对钝化层、绝缘层和半导体衬底进行蚀刻形成杯型接触孔，包括：对钝化层进行干法蚀刻，直到露出绝缘层，形成上宽下窄的开口，从而定义杯型接触孔的顶部宽度；对暴露出的绝缘层表面进行湿法蚀刻，定义杯型接触孔的顶部深度；继续对绝缘层进行干法蚀刻直到露出半导体衬底，并定义杯型接触孔的底部宽度；对暴露出的半导体衬底进行蚀刻，从而定义杯型接触孔的底部深度；在所述杯型接触孔内及钝化层表面上沉积扩散阻挡层；在接触孔内填充金属铝以形成铝插塞，其中所述杯型接触孔的顶部宽度大于底部宽度。