用于感应耦合等离子体腔室中射频窗的加热器

摘要

一种用于感应耦合等离子体腔室中射频窗的加热器，为镂空结构，该加热器包含上绝缘层、下绝缘层、以及设置在上绝缘层和下绝缘层之间的电热丝，该加热器还包含镂空部分。本发明将加热器上无电热丝部分切除，尽可能使射频窗直接暴露于风扇的冷却范围下，射频窗的导热性要好于加热器的聚酰亚胺材料，有利于风扇快速的带走加热器和等离子体作用于射频窗上的部分热，能使射频窗快速的达到热平衡，实现对射频窗的温度控制，同时也可以避免由于聚酰亚胺加热器的散热不良造成的射频窗中间边缘温度差过大而导致的射频窗破裂。

主权项

一种用于感应耦合等离子体腔室中射频窗的聚酰亚胺加热器，该聚酰亚胺加热器设置在感应耦合等离子体腔室顶部，该感应耦合等离子体腔室包含反应腔（100）和设置在反应腔（100）顶部的射频窗（3），连接气体源（33）的输气管道（104）穿过射频窗（3），将反应气体注入反应腔（100）内，反应腔（100）内设置有载片台（6），载片台（6）用于放置待处理的晶元，反应腔（100）连接真空泵（5），该感应耦合等离子体腔室上方或侧壁还设置线圈（222），以及连接线圈（222）的射频电源（4）；所述的聚酰亚胺加热器设置在射频窗（3）上，其特征在于，该聚酰亚胺加热器包含加热器（2）和风扇（1），所述的加热器（2）为镂空三明治结构，该加热器（2）包含上绝缘层（21）、下绝缘层（22）、以及设置在上绝缘层（21）和下绝缘层（22）之间的电热丝（23），该加热器（2）还包含镂空部分（24），切除加热器（2）上未设置电热丝（23）的部分，形成镂空部分（24），作为风扇冷却沟道。