涡轮分子泵

摘要

涡轮分子泵包括：转子，形成有多段旋转翼与圆筒部；多段固定翼，相对于多段旋转翼而交替地配置；定子，相对于圆筒部隔着间隙而配置；多个隔片，层叠在固定有定子的基座上，且将多段固定翼定位；加热器，设于基座；温度传感器，对定子的温度进行检测；以及温度调整部，基于温度传感器的检测温度而控制加热器的接通断开，将定子的温度调整为防止反应产物堆积的温度；且多个隔片中的配置在基座侧的至少一个隔片由冷却介质所冷却，所述涡轮分子泵还包括隔热构件，所述隔热构件设于基座与配置在该基座上的隔片之间。

主权项

一种涡轮分子泵，其特征在于，包括：转子，形成有多段旋转翼与圆筒部；多段固定翼，相对于所述多段旋转翼而交替地配置；定子，相对于所述圆筒部隔着间隙而配置；多个隔片，层叠在固定有所述定子的基座上，且将所述多段固定翼定位；加热器，设于所述基座；温度传感器，对所述定子的温度进行检测；以及温度调整部，基于所述温度传感器的检测温度而控制所述加热器的接通断开，将所述定子的温度调整为防止反应产物堆积的温度；且所述多个隔片中的配置在基座侧的至少一个隔片由冷却介质所冷却，所述涡轮分子泵还包括隔热构件，所述隔热构件设于所述基座与配置在所述基座上的所述隔片之间。