发明名称 |
一种全自动蚀刻工艺流水线 |
摘要 |
本实用新型公开了一种全自动蚀刻工艺流水线,包括依次连接的放卷机构、印刷机构、曝光机构、显影机构、蚀刻机构、去膜机构、清洗机构、烘干机构和包装机构;所述印刷机构、曝光机构、显影机构、蚀刻机构、去膜机构、清洗机构、烘干机构和包装机构均设置有穿插其内部并输送料带的轨道,所述轨道包含有左支架、右支架、驱动电机、若干个传送轮和若干个平行排列的滚轴。此流水线具有加工速度快,加工方便的优点。 |
申请公布号 |
CN204157169U |
申请公布日期 |
2015.02.11 |
申请号 |
CN201420705747.2 |
申请日期 |
2014.11.21 |
申请人 |
宁波东盛集成电路元件有限公司 |
发明人 |
何公明;梁泰频;王满根;邢慧颖;章惠珍;杨正军;郭永华;曾旭;尹国钦 |
分类号 |
H05K3/00(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I |
主分类号 |
H05K3/00(2006.01)I |
代理机构 |
余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 |
代理人 |
胡小永 |
主权项 |
一种全自动蚀刻工艺流水线,其特征在于,所述全自动蚀刻工艺流水线包括依次连接的放卷机构(1)、印刷机构(2)、曝光机构(3)、显影机构(4)、蚀刻机构(5)、去膜机构(6)、清洗机构(7)、烘干机构(8)和包装机构(9);所述印刷机构(2)、曝光机构(3)、显影机构(4)、蚀刻机构(5)、去膜机构(6)、清洗机构(7)、烘干机构(8)和包装机构(9)均设置有穿插其内部并输送料带的轨道(10),所述轨道(10)包含有左支架(11)、右支架(12)、驱动电机(13)、若干个传送轮(14)和若干个平行排列的滚轴(15),所述左支架(11)与右支架(12)均横向穿插在印刷机构(2)、曝光机构(3)、显影机构(4)、蚀刻机构(5)、去膜机构(6)、清洗机构(7)、烘干机构(8)和包装机构(9)的内侧,所述滚轴(15)的两端分别与左支架(11)与右支架(12)旋转连接,所述传送轮(14)轴向均布在滚轴(15)上用于传送料卷,所述驱动电机(13)与其中的一根或者多个滚轴(15)旋转。 |
地址 |
315800 浙江省宁波市北仑区大港三路51号 |