振荡器

摘要

本发明提供一种MEMS振荡器，包括：振荡部，该振荡部具备包括MEMS谐振器和放大器的反馈型振荡电路、和自动增益控制器，该自动增益控制器接收来自放大器的输出并基于该输出的电平按照将来自放大器的输出的电平确保为固定的方式控制放大器的增益，该振荡部将来自放大器的输出作为原振荡信号来输出；和修正部，输入原振荡信号，根据原振荡信号生成规定的设定频率的信号，并作为输出信号来输出，修正部从振荡部输入不同于原振荡信号的、包括与MEMS谐振器的增益相关的信息在内的信息信号，并基于信息信号修正原振荡信号的频率来生成规定的设定频率的信号，并作为输出信号来输出。

主权项

一种微型机电系统振荡器，包括：振荡部，该振荡部具备包括微型机电系统谐振器和放大器的反馈型振荡电路、以及自动增益控制器，该自动增益控制器接收来自所述放大器的输出并基于该输出的电平按照将来自所述放大器的输出的电平确保为固定的方式控制所述放大器的增益，所述振荡部将来自所述放大器的输出作为原振荡信号来输出；和修正部，输入所述原振荡信号，根据所述原振荡信号生成规定的设定频率的信号，并作为输出信号来输出，所述修正部从所述振荡部输入不同于所述原振荡信号的、包括与所述微型机电系统谐振器的谐振频率下的增益具有对应关系的信号在内的信息信号，并基于所述信息信号来检测所述微型机电系统谐振器的谐振频率下的增益，基于检测出的增益和所述微型机电系统谐振器的谐振频率与增益之间的对应关系，求出检测出所述增益时的所述微型机电系统谐振器的工作温度下的所述微型机电系统谐振器的谐振频率，基于求出的谐振频率修正所述原振荡信号的频率来生成所述规定的设定频率的信号，并作为输出信号来输出，所述信息信号是从所述微型机电系统谐振器反馈到所述放大器的反馈信号。