脆性材料基板之分断装置

主权项

一种脆性材料基板之分断装置，具备：装载台，装载加工对象之脆性材料基板；保持手段，用以将该脆性材料基板于该装载台上保持于定位置；头部，配置在该装载台上方；以及扫描机构，使该头部相对该脆性材料基板移动；于该头部直列配置有用以形成划线之划线工具与产生向上之吸引作用之吸引垫；藉由使该头部相对该脆性材料基板以该划线工具为前导相对移动，据以该划线工具于该脆性材料基板形成划线，接续于此以后续之该吸引垫沿着形成之划线分断该脆性材料基板。