半导体制造装置用气体导入管之部分（一）,申请号TW102305583-传众专利搜索

发明名称	半导体制造装置用气体导入管之部分（一）
摘要
申请公布号	TWD165982	申请公布日期	2015.02.11
申请号	TW102305583	申请日期	2013.08.20
申请人	东京威力科创股份有限公司	发明人	福原芳树;似鸟弘弥;关忠圣
分类号	15-99	主分类号	15-99
代理机构		代理人	林秋琴台北市大安区敦化南路1段245号8楼;陈彦希台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项
地址	日本