发明名称 | 探针、探针卡与制作探针的方法 | ||
摘要 | |||
申请公布号 | TWI472772 | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
申请号 | TW102101178 | 申请日期 | 2013.01.11 |
申请人 | 旺矽科技股份有限公司 | 发明人 | 范宏光;徐先达 |
分类号 | G01R1/067;G01R3/00 | 主分类号 | G01R1/067 |
代理机构 | 代理人 | 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 | |
主权项 | 一种探针,包含:一针身段;一针尖段,连接该针身段;以及一金属氧化物层,位于该针身段的至少一侧上,其中该金属氧化物层的材质为氧化铝、二氧化钛或上述之任意组合。 | ||
地址 | 新竹县竹北市中和街155号 |