发明名称 固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法
摘要 本发明提供一种固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法,能够提高光电转换元件的受光效率。根据本发明的一个实施方式,提供固体摄像装置。固体摄像装置具备光电转换元件、第一反射防止膜、中间膜以及第二反射防止膜。光电转换元件与多个色光的各个对应地设置。第一反射防止膜设置于光电转换元件的受光面侧。中间膜设置于第一反射防止膜的受光面侧。第二反射防止膜设置于中间膜的受光面侧。此外,第一反射防止膜、中间膜以及第二反射防止膜中的至少一个针对受光的每个色光而膜厚不同。
申请公布号 CN104347650A 申请公布日期 2015.02.11
申请号 CN201410063255.2 申请日期 2014.02.25
申请人 株式会社东芝 发明人 成濑纯次;田中长孝
分类号 H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 徐冰冰;刘杰
主权项 一种固体摄像装置,具备:光电转换元件,与多个色光的各个对应地设置;第一反射防止膜,设置于所述光电转换元件的受光面侧;中间膜,设置于所述第一反射防止膜的受光面侧;以及第二反射防止膜,设置于所述中间膜的受光面侧,所述第一反射防止膜、所述中间膜以及所述第二反射防止膜中的至少一个针对受光的每个色光而膜厚不同。
地址 日本东京都