| 发明名称 | 用于控制射频功率的方法与系统 | ||
| 摘要 | 用于控制脉冲功率的方法包括测量来自功率放大器的功率的第一脉冲来获得数据。所述方法还包括产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异。所述方法还包括产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。 | ||
| 申请公布号 | CN102484396B | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
| 申请号 | CN201080037077.6 | 申请日期 | 2010.06.16 |
| 申请人 | MKS仪器股份有限公司 | 发明人 | S·纳加拉卡迪;田丰;D·兰姆;A·拉什德;S·本泽洛克;I·贝斯特亚克;D·孟哲;J·J·苏斯;J·E·安布罗西纳 |
| 分类号 | H02J17/00(2006.01)I | 主分类号 | H02J17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 张欣 |
| 主权项 | 一种用于控制脉冲功率的方法，包括：测量来自功率放大器的所传输的功率的第一脉冲来获得数据；产生第一信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第一信号相关联于所述数据来最小化功率设定点和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的功率差异；以及产生第二信号来调节所传输的功率的第二脉冲，所述第二信号相关联于所述数据来最小化所述第二脉冲的峰值和所述第二脉冲的基本稳定部分之间的幅值差异。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||