一种纳米氧化锌定向阵列的制备方法

摘要

本发明涉及纳米氧化锌定向阵列的制备方法，该方法将Zn盐水溶液和聚乙烯基吡咯烷酮水溶液的混合液作为反应溶液，滴加氨水调节溶液的pH值，将表面极化处理过的抛光清洁硅（100）衬底水平浸入此混合溶液中，保温一段时间，取出硅片，经氧化烧结，清洗，于空气中晾干，得到纳米氧化锌阵列。采用本发明方法可大面积快速制备高取向、高纯度的均匀分布的纳米氧化锌阵列，并且形貌可控，生长对衬底不具有选择性，可在低温环境下制备，工艺简单，成本低廉。

主权项

一种纳米氧化锌定向阵列的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将0.1mol/L~0.5mol/L的Zn盐水溶液和质量浓度1%~1.5%的聚乙烯基吡咯烷酮水溶液按Zn²⁺/聚乙烯基吡咯烷酮摩尔比为2：1～1：2混合，得到混合溶液；(2)将氨水滴入步骤(1)制备的混合溶液中，调节混合溶液的pH值为10~11，得到聚乙烯基吡咯烷酮‑Zn(OH)₂络合溶液；(3)将表面极化处理过的抛光洁净硅（100）衬底水平浸入步骤(2)配置好的聚乙烯基吡咯烷酮‑Zn(OH)₂络合溶液,保温3h，取出硅片;(4)将步骤(3)取出的硅片放在刚玉舟上，置于管式炉中，在20ml/min~60ml/min的氧气流速下，以5℃/min的加热速率升温到420℃氧化烧结0.5~1.5h；(5)硅片自然降温至室温后用90℃去离子水反复冲洗，于空气中晾干，得到纳米氧化锌定向阵列。