一种基于电容与压敏橡胶组合的三维力触觉传感单元

摘要

本实用新型公开了一种基于电容与压敏橡胶组合的三维力触觉传感单元。依次由表面PDMS凸起、第三块PI电极衬底、PDMS支撑层、电容极板层、第二块PI电极衬底和第一块PI电极衬底层叠而成；PDMS支撑层框架内的四个角分别装有由正方形浮动电极和正方形压敏橡胶构成的组件，组件中的正方形浮动电极下表面与正方形压敏橡胶上表面贴合，正方形浮动电极上表面与第三PI电极衬底下表面贴合，正方形压敏橡胶与电容极板层的距离为PDMS支撑层厚度的二分之一。利用电容式触觉传感的高灵敏度以及压阻式触觉传感的大量程结合在一起，实现微小触碰力和较大接触力的检测。它可在高灵敏度和大量程测量的机器人手、人工假肢、手术机械手等领域中应用。

主权项

一种基于电容与压敏橡胶组合的三维力触觉传感单元，其特征在于：三维力触觉传感单元从上至下依次由表面PDMS凸起(1)、第三块PI电极衬底(2)、PDMS支撑层(5)、电容极板层(6)、第二块PI电极衬底(7)和第一块PI电极衬底(9)层叠而成；PDMS支撑层(5)框架内的四个角分别装有由正方形浮动电极(3)和正方形压敏橡胶(4)构成的组件，所述每个组件中的正方形浮动电极(3)下表面与正方形压敏橡胶(4)上表面贴合，正方形浮动电极(3)上表面与第三PI电极衬底(2)下表面贴合，正方形压敏橡胶(4)与电容极板层(6)的距离为PDMS支撑层(5)厚度的二分之一。