用于边缘关键尺寸均匀性控制的处理套组

主权项

一种环组件，包括：一外陶瓷环，该外陶瓷环具有一曝露顶表面及一底表面；及一内矽环，该内矽环经配置以与该外陶瓷环配合以界定一重叠区域，该内矽环具有一内表面、一顶表面及形成于该内表面与该顶表面之间的一槽口，该内表面界定该环组件之一内直径，该槽口的大小被设置为接受一基板之一边缘，该内矽环之该顶表面之一外部分经配置以在该重叠区域中接触且位于该外陶瓷环之该底表面之一内部分下方。