发明名称 一种工件台平衡质量质心测试校准方法
摘要 一种工件台平衡质量质心测校方法,包含以下步骤:以平衡质量作为测校对象,其水平X、Y自由度开环,Rz自由度闭环;给平衡质量注入运动轨迹,采集平衡质量零速段位移测量输出,将平衡质量的位移数据处理后得到平衡质量的水平向三自由度的位移值;将处理得到的数据代入到质心测校方法中,得到平衡质量质心相对形心的偏心量。通过平衡质量物理传感器的测量值来确定平衡质量质心相对物理传感器测量中心的质心偏差,该方法简单实用,不需要增加额外的测试装置。
申请公布号 CN103197517B 申请公布日期 2015.02.11
申请号 CN201210001422.1 申请日期 2012.01.05
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 吴立伟;董俊清
分类号 G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G03F9/00(2006.01)I
代理机构 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 代理人 王光辉
主权项 一种工件台平衡质量质心测试校准方法,其特征在于,具有以下步骤:步骤一、针对平衡质量生成N组Rz轨迹,设定最大测试次数M;步骤二、假设初始时质心偏差<img file="dest_path_image002.GIF" wi="17" he="11" />、<img file="dest_path_image004.GIF" wi="17" he="16" />为零,设定XY向质心的搜索阈值spec_x和spec_y;步骤三、选择X、Y、Rz轴的测试模型,将此时的<img file="dest_path_image002a.GIF" wi="17" he="11" />、<img file="dest_path_image004a.GIF" wi="17" he="16" />值代入到测试模型中,选择一组Rz轨迹,注入到测试模型;步骤四、运行测试模型,得到平衡质量零速段位移测量输出,进而得到XYRz三自由度的位移输出<img file="dest_path_image006.GIF" wi="76" he="12" />、<img file="dest_path_image008.GIF" wi="77" he="12" />和<img file="dest_path_image010.GIF" wi="52" he="12" />,根据公式:<img file="dest_path_image012.GIF" wi="123" he="76" />计算出此时的<img file="dest_path_image002aa.GIF" wi="17" he="11" />、<img file="dest_path_image004aa.GIF" wi="17" he="16" />值并记录;步骤五、输入下一组Rz轨迹,重复步骤三和步骤四,得到不同的<img file="dest_path_image002aaa.GIF" wi="17" he="11" />、<img file="dest_path_image004aaa.GIF" wi="17" he="16" />值并记录;步骤六、记录N次值以后,求平均,得到该组测试完成后的质心偏差<img file="dest_path_image002aaaa.GIF" wi="17" he="11" />、<img file="dest_path_image004aaaa.GIF" wi="17" he="16" />值;步骤七、判断是否完成了M次测试,若未完成,则对得到的<img file="dest_path_image002aaaaa.GIF" wi="17" he="11" />、<img file="dest_path_image004aaaaa.GIF" wi="17" he="16" />,分别与设定的搜索阈值spec_x、spec_y进行比较,如果<img file="dest_path_image002aaaaaa.GIF" wi="17" he="11" />、<img file="dest_path_image004aaaaaa.GIF" wi="17" he="16" />均小于搜索阈值,则认为测校完成,并确认质心的偏移量为<img file="dest_path_image002aaaaaaa.GIF" wi="17" he="11" />、<img file="dest_path_image004aaaaaaa.GIF" wi="17" he="16" />;如果<img file="dest_path_image002aaaaaaaa.GIF" wi="17" he="11" />、<img file="dest_path_image004aaaaaaaa.GIF" wi="17" he="16" />中至少一个大于搜索阈值,将此时的<img file="dest_path_image002aaaaaaaaa.GIF" wi="17" he="11" />、<img file="dest_path_image004aaaaaaaaa.GIF" wi="17" he="16" />值代入测试模型,重复步骤三~六,直到<img file="dest_path_image002aaaaaaaaaa.GIF" wi="17" he="11" />、<img file="dest_path_image004aaaaaaaaaa.GIF" wi="17" he="16" />值小于设定的搜索阈值,完成测校;或者直到测试次数大于设定的测试次数M,完成测校。
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