补液装置

摘要

本发明公开了一种补液装置，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接所述储液罐进口。本发明提供的补液装置，可随着化学药液的反复使用，药液的浓度变化，定时定量的补给，能够维持一定的药液浓度，从而保证工艺效果，操作简单。

主权项

一种补液装置，其特征在于，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接所述储液罐进口；所述超纯水定量补给管路上从超纯水入口开始依次设有总补给气动阀、定量泵以及设有超纯水定量补给气动阀，所述超纯水定量补给管路的出液口连接所述储液罐进口，所述定量泵包括膜片和控制膜片开合度的旋钮；在工艺过程中，所述补液装置定期地对所述补液装置定量补液，其中，通过首先打开所述总补给气动阀、打开所述定量泵、关闭所述总补给气动阀避免进液口的压力波动对补液量的影响；然后打开所述超纯水定量补给气动阀、关闭所述定量泵、关闭所述超纯水定量补给气动阀完成所述补液装置的定量补液。