一种用于高速原子力显微成像的实时校正方法与系统

摘要

本发明公开了一种用于高速原子力显微成像的实时校正方法与系统，属于高速原子力显微技术领域。所述的方法在实时相位校正模块中，使用双压电片的一侧作为检测片，检测每次扫描产生的相位滞后角度θ，然后通过对采集的数据进行移位来实现相位滞后的校正；在实时非线性校正模块中，通过设定的每周期采样点数，首先计算出正弦扫描采集的每个数据点所在的真实空间位置，然后通过一定的映射关系，得到校正后的探针偏转信号。本发明可以在扫描过程中对图像进行处理而不是后期处理，具有很好的实时性；使用LabVIEW软件设计，操作过程简单。

主权项

一种用于高速原子力显微成像的实时校正方法，其特征在于：包括对正弦扫描获得的探针偏转信号进行实时相位校正和实时非线性校正；所述的实时相位校正具体为：通过双压电片的检测信号，得到双压电片的相位滞后角度θ，利用相位滞后角度θ和每周期采样点数N，得到相位滞后的点数k，最后将采集的数据顺序移动k位，即实现对初始采集数据进行相位滞后的校正；所述的相位滞后的点数k通过如下公式计算得到：k＝(θ/180)×N/2所述的实时非线性校正具体为：首先设定每周期采样点数N，确定每个采样点所在的空间位置i；其次，确定每个采样点的空间位置i与探针偏转信号之间的映射关系，根据所述的映射关系对探针偏转信号进行校正；所述的空间位置i，利用公式n＝0～(N/2‑1)，n为整数，取整计算出在正弦扫描中第n个采样点所对应的空间位置i。