刻划装置

摘要

一种刻划装置。能够根据刻划线的种类使用适当的刻划头来形成刻划线。该装置用于在基板上形成多条刻划线，其具备：第1刻划单元（11），其具有第1刻划头，在基板上形成第1刻划线；以及第2刻划单元（12），其具有第2刻划头，在基板上形成第2刻划线。第1刻划头具有：夹具保持部件（23）；以及夹具（24），其前端可安装刀轮（42），被支撑为能够相对于夹具保持部件（23）绕与工件表面垂直的轴旋转自如。第2刻划头具有：夹具保持部件（23）；以及夹具（24），其前端可以安装刀轮（42），其相对于夹具保持部件（23）的绕与工件表面垂直的轴的旋转被限制。

主权项

一种刻划装置，用于在作为工件的脆性材料基板上形成多条刻划线，所述刻划装置具备：第1刻划单元，其用于在脆性材料基板上形成第1刻划线，且具有第1刻划头，该第1刻划头具有：第1夹具保持部件；以及第1夹具，该第1夹具的前端可安装刀具，被支撑为能够相对于所述第1夹具保持部件绕与工件表面垂直的轴旋转自如；以及第2刻划单元，其用于在脆性材料基板上形成第2刻划线，且具有第2刻划头，该第2刻划头具有：第2夹具保持部件；以及第2夹具，该第2夹具的前端可安装刀具，其相对于所述第2夹具保持部件的绕与工件表面垂直的轴的旋转被限制。