| 发明名称 | 一种高效的衬底剥离方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种高效的衬底剥离方法，包括以下步骤：步骤一，外延结构与衬底之间设置牺牲层，牺牲层由交替生长的AlInP/AlAs多层结构组成；步骤二，采用化学腐蚀液蚀刻和剥离牺牲层。本发明可以提高外延结构与衬底的剥离速率，且解决剥离时外延结构容易破损的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN104347359A | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
| 申请号 | CN201410477236.4 | 申请日期 | 2014.09.18 |
| 申请人 | 厦门乾照光电股份有限公司 | 发明人 | 林志伟;张永;陈凯轩;姜伟;蔡建九;吴洪清;李俊承;方天足;卓祥景;张银桥;黄尊祥;王向武 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L33/02(2010.01)I;H01L33/12(2010.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人 | 李宁 |
| 主权项 | 一种高效的衬底剥离方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一，外延结构与衬底之间设置牺牲层，牺牲层由交替生长的AlInP/AlAs多层结构组成；步骤二，采用化学腐蚀液蚀刻和剥离牺牲层。 | ||
| 地址 | 361000 福建省厦门市火炬高新（翔安）产业区翔天路259-269号 | ||