发明名称 一种烤箱和可调式烘烤系统
摘要 本发明提供一种烤箱和可调式烘烤系统。所述烤箱包括:信号接收模块,用于接收位于该烤箱上游的显影机向其发送的准备传输待烘烤的玻璃基板的准备传输信号;烘烤模块,用于对玻璃基板进行烘烤;侦测模块,用于侦测自动控制器是否在对所述烘烤模块中的玻璃基板执行取出操作;信号反馈模块,用于根据所述侦测模块的侦测结果决策是否向所述显影机发回反馈信号以指示所述显影机向其传输待烘烤的玻璃基板。实施本发明提供的烤箱和可调式烘烤系统,其可以对上游显影机传输待烘烤的玻璃基板的传片速度进行调节,不需要专门配备缓冲器,大大节省了设备成本,同样也可以调节烤箱的烘烤时间,从而提高烘烤效率。
申请公布号 CN102799082B 申请公布日期 2015.02.11
申请号 CN201210326813.0 申请日期 2012.09.06
申请人 深圳市华星光电技术有限公司 发明人 杨光乾;康基善;陈聪文;伍浚铭;李巍
分类号 G03F7/38(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I 主分类号 G03F7/38(2006.01)I
代理机构 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 代理人 潘中毅;熊贤卿
主权项 一种烤箱,其特征在于,包括: 信号接收模块,用于接收位于该烤箱上游的显影机向其发送的准备传输待烘烤的玻璃基板的准备传输信号;烘烤模块,用于对玻璃基板进行烘烤;侦测模块,用于侦测自动控制器是否在对所述烘烤模块中的玻璃基板执行取出操作;信号反馈模块,用于根据所述侦测模块的侦测结果决策是否向所述显影机发回反馈信号以指示所述显影机向其传输待烘烤的玻璃基板。
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