化学机械硏磨机之喷洒装置（二）

主权项

一种化学机械研磨机之喷洒装置(二)，包含：一基座，具有一定位面、多数设于内部且彼此互相连通的导流道及多数对应于该定位面且与该等导流道互相连通的安装孔，该等安装孔呈矩阵排列状；多数喷洒单元，安装于该等安装孔的其中一部分，并各具有一可与该等导流道互相连通的喷孔，该等喷洒单元可依需求安装于不同位置的安装孔；及多数封塞件，安装于未安装该等喷洒单元的安装孔中，并各具有一可封闭该等安装孔的封闭端部，该等封塞件可依需求安装于不同位置的安装孔。