用于沉积系统的气体注入部件及相关方法

摘要

一种气体注入器包括底板、中板和顶板。底板、中板和顶板被构造成使净化用气体在底板与中板之间流动，并且使前体气体在中板与顶板之间流动。另一气体注入器包括前体气体进口、侧部前体气体流动通道，以及多个前体气体流动通道。所述多个前体气体流动通道从所述至少一个侧部前体气体流动通道延伸至气体注入器的出口。在衬底上形成材料的方法包括：使前体在气体注入器的中板与顶板之间流动，以及使净化用气体在气体注入器的底板与中板之间流动。

主权项

一种用于化学沉积腔的气体注入器，该气体注入器包括：底板；中板，其被定位在所述底板的上方；以及顶板，其在所述中板的与所述底板相反的那一侧被定位在所述中板的上方，其中所述底板、所述中板和所述顶板被构造成使净化用气体在所述底板与所述中板间流动并且使前体气体在所述中板与所述顶板之间流动。