| 主权项 |
一种用于从一基板剥离光阻的设备，该设备包含：一台座(pedestal)，其包括：(a)一压板(platen)，其具有一基板曝露表面，该基板曝露表面之一实质整体(substantial entirety)具有不大于约0.3之一发射率(emissivity)；(b)一加热元件，其系嵌入于该压板中；以及(c)一轴杆，其系耦合至该压板且具有用于与一致动器接合并允许移动该台之一特征；及一耦合至该台座之控制器，其中：该控制器经组态以在一第一位置与一第二位置之间移动该台座，其中该压板与该基板在该第二位置实质上相互接触，且该压板与该基板之一实质整体在该第一位置处由一间隙所分隔；该控制器经进一步组态以在一启动状态(enabled state)与一禁能状态(disabled state)之间切换该加热元件；以及该控制器经进一步组态以在该第一及第二位置处维持该加热元件在该启动状态，其中该基板在该第一位置处被加热至一第一温度且该基板在该第二位置处被加热至一不同于该第一温度之第二温度。 |
