一种无氧化剂的碱性铝合金抛光液及其制备方法

摘要

一种无氧化剂的碱性铝合金抛光液，按照质量百分比，包括1~5%络合剂、0.5~3%缓蚀剂、0.5~1%表面润滑活性剂、3~20%研磨剂、余量为水以及将抛光液pH调节至8~10的pH调节剂，研磨剂为微米级三氧化二铝和纳米级三氧化二铝的混合物；在液态水中加入表面润滑活性剂和研磨剂，搅拌均匀，加入缓蚀剂和络合剂，搅拌均匀，采用pH调节剂将溶液pH值调节到8-10即得。该抛光液可以大大增强磨料的悬浮性和抛光液的流动性，降低了表面划痕损伤，配合高效络合剂和缓蚀剂，无氧化剂的条件下，获得了材料高速去除速率和平坦化表面质量；抛光效率高，使用寿命长，对抛光机没有严重腐蚀效应；制备方法简单、易于生产，方便操作。

主权项

一种无氧化剂的碱性铝合金抛光液，其特征在于，按照质量百分比计，包括下述组分：络合剂                   1~5%缓蚀剂                   0.5~3%表面润滑活性剂           0.5~1%研磨剂                   3~20%余量为水以及将所述抛光液pH调节至8~10的pH调节剂；其中，所述的研磨剂为微米级三氧化二铝和纳米级三氧化二铝的混合物。