一种电镜扫描样品制备方法

摘要

本发明公开了一种电镜扫描样品制备方法，包括：在芯片待取样的区域上形成保护层；图形化所述保护层以形成多个矩形的定位图形；在所述定位图形处形成定位孔；填充所述定位孔形成定位柱；将待取样区域切割取出，形成长方体状的粗样；对所述粗样在Y方向上进行减薄，同时用电子束观察粗样，直至暴露出所述定位柱，形成电镜扫描样品。由于采用定位柱控制样品厚度和减薄过程，能精确控制为样品厚度为所需要的厚度，并且能节省样品备制时间。

主权项

一种电镜扫描样品制备方法，包括：在芯片待取样的区域上形成保护层；图形化所述保护层以形成多个矩形的定位图形；在所述定位图形处形成定位孔；填充所述定位孔形成定位柱；将待取样区域切割取出，形成长方体状的粗样，所述保护层所在的面为顶面，所述顶面的较长的一边为X方向，顶面的较短的一边Y方向，垂直于X、Y方向所在平面的方向为Z方向；对所述粗样在Y方向上进行减薄，同时用电子束观察粗样，直至暴露出所述定位柱，形成电镜扫描样品。