用于归一化光学发射光谱的方法和装置

摘要

本发明提供了一种具有用于等离子发射原位光学解调，用以定量测量归一化光学发射光谱的室的处理系统。该处理室包括限制环组件，闪光灯和一组石英窗。该处理室还包括多个准直光学组件，该准直光学组件与该组石英窗光学耦合。该处理室进一步包括多个光纤维束，该处理室更进一步包括多通道光谱仪，其至少配置有信号通道和参考通道。该信号通道至少与该闪光灯、该组石英窗、该组准直光学组件、该照明光纤维束以及收集光纤维束光学耦合，用以测量第一信号。

主权项

一种用于等离子发射原位光学解调以定量测量归一化光学发射光谱的处理系统，所述处理系统包括：至少一等离子处理室，其具有限制环组件和一组石英窗；外部闪光灯；多个准直光学组件，所述多个准直光学组件与所述一组石英窗光学耦合，其中所述多个准直光学组件配置以将所述一组石英窗耦合到所述处理室；多个光纤维束，所述多个光纤维束至少包括照明光纤维束、收集光纤维束以及参考光纤维束；以及多通道光谱仪，所述多通道光谱仪至少配置有信号通道和参考通道，所述信号通道至少与所述外部闪光灯、所述一组石英窗、所述多个准直光学组件、所述照明光纤维束以及所述收集光纤维束光学耦合，以测量第一信号，其中所述参考通道至少与所述外部闪光灯以及所述参考光纤维束光学耦合，以测量第二信号，并且其中所述第一信号的测量和所述第二信号的测量同时进行。