用于提供制程工具校正之方法及系统

主权项

一种将制程工具校正提供至一或多个制程工具之方法，其包括：对一批量晶圆之一晶圆履行一第一测量制程，其中该第一测量制程包含测量跨该批量晶圆之该晶圆的一或多个域分布之复数个目标的一或多个特性；利用一损失函数而判定用于大于一所选临限值位准之一残差的一组制程工具校正，其中该损失函数经组态以依据域位置而令用于一或多个制程工具的一模型拟合于该复数个目标之经测量之该等特性之一或多者，其中该组制程工具校正包含起作用以最小化介于该残差之一范数与该所选临限值之差值之该模型的一或多个参数；及利用经判定之该组之制程工具校正以监测或调整该一或多个制程工具之一或多个制程。