| 发明名称 |
光阻组成物 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI472874 |
申请公布日期 |
2015.02.11 |
| 申请号 |
TW098135103 |
申请日期 |
2009.10.16 |
| 申请人 |
东进世美肯有限公司 |
发明人 |
金柄郁;俞载元;郭恩珍;金云龙 |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/022;C08L61/10;C08K3/22;C08K9/06;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼 |
| 主权项 |
一种光阻组成物，包含有：a)硷性可溶性树脂；b)感光性化合物；c)胶体状无机物；及d)有机溶媒；其中前述胶体状无机物系选自于前述无机物已藉由有机矽烷表面处理之物。 |
| 地址 |
南韩 |
