发明名称 抗分层及抗裂化之影像感测器结构及方法
摘要
申请公布号 TWI473256 申请公布日期 2015.02.11
申请号 TW098118047 申请日期 2009.06.01
申请人 万国商业机器公司 发明人 卡比诺杰佛瑞;札菲马克D;赖迪罗柏特K;莫森特查尔斯F;拉塞尔理察J
分类号 H01L27/14;G02B3/00;H01L21/76 主分类号 H01L27/14
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种影像感测器结构,包含:一基材,包含一感光部分及一电路部分;一介电隔离金属化堆叠,设置在该基材上;一平坦化层,设置在该介电隔离金属化堆叠上方;复数个主动透镜(active lens)层,设置在该平坦化层上方并以该感光部分内的复数个感光区域标示;以及至少一个不同尺寸的仿真(dummy)透镜层,其系至少部分设置在位于该电路部分上的该平坦化层上方;以及一透镜覆盖层,钝化该复数个主动透镜层、该至少一个仿真透镜层及该平坦化层的暴露部分。
地址 美国