用于背面照明图像传感器的密封环支撑件

摘要

一种具有密封环支撑件的背面照明成像传感器包含外延层，所述外延层具有形成在所述外延层的正面中的成像阵列。金属堆叠耦合到所述外延层的所述正面，其中所述金属堆叠包含形成在所述成像传感器的边缘区中的密封环。包含开口，所述开口从所述外延层的所述背面延伸到所述密封环的金属垫以暴露所述金属垫。所述密封环支撑件安置在所述金属垫上且安置在所述开口内以在结构上支撑所述密封环。

主权项

一种背面照明成像传感器，其包括：外延层，其具有形成在所述外延层的正面中的成像阵列，其中所述成像阵列适合于接收来自所述外延层的背面的光；金属堆叠，其耦合到所述外延层的所述正面，其中所述金属堆叠包含形成在所述成像传感器的边缘区中的密封环；开口，其从所述外延层的所述背面延伸到所述密封环的金属垫以暴露所述金属垫；以及密封环支撑件，其安置在所述金属垫上且安置在所述开口内以在结构上支撑所述密封环，其中所述密封环支撑件在所述背面照明成像传感器的转角区中具有第一宽度，且其中所述密封环支撑件在所述背面照明成像传感器的侧边区中具有与所述第一宽度不同的第二宽度。