化学机械研磨修整器

主权项

一种化学机械研磨修整器，包括：一研磨本体，包括一第一研磨层、一第二研磨层、及一基材，其中一第一凹槽及一第二凹槽系对称设置于该基材外侧面；以及一转接治具，包括一第一凸出部、一第二凸出部、及一弹簧组件，其中该第一凸出部及该第二凸出部系对称设置于转接治具之内表面；其中，当该研磨本体组设于该转接治具时，该转接治具之该第一凸出部系组设于该研磨本体之该第一凹槽中，而该转接治具之该弹簧组件系组设于该研磨本体之该第二凹槽中，使该研磨本体可以透过该转接治具而快速组装，并随着该转接治具而进行旋转与加工；其中该转接治具更包括一高度调节组件，调整其高度至研磨本体之底部。