形成精细图案的方法

摘要

形成精细图案的方法包括：在基础层之上层叠第一、第二和第三辅助层；分别在第三、第二和第一辅助层内形成彼此分开且每个分别具有第一、第二和第三宽度的第一、第二和第三酸扩散区；分别去除第一至第三酸扩散区，形成彼此间距第三宽度的第一辅助图案、在各第一辅助图案上且彼此间距第二宽度的第二辅助图案、和在各第二辅助图案上且彼此间距第一宽度的第三辅助图案；在第一辅助图案之间形成第一硬掩模图案，并在各第三辅助图案下的每个第二辅助图案的侧壁上形成第二硬掩模图案；去除第三辅助图案以暴露第二辅助图案；去除第二辅助图案和暴露在第一与第二硬掩模图案之间的一些第一辅助图案；和去除因去除第二辅助图案暴露的一些第一辅助图案。

主权项

一种形成精细图案的方法，包括以下步骤：在基础层之上层叠第一辅助层、第二辅助层和第三辅助层各层，所述第一辅助层、所述第二辅助层和所述第三辅助层中的每个包含热致产酸剂和光致产酸剂中的至少一种；利用曝光工艺分别在所述第三辅助层、所述第二辅助层和所述第一辅助层内产生酸并利用烘焙工艺使所述酸扩散，来在所述第三辅助层内形成彼此分隔开且每个都具有第一宽度的第一酸扩散区，在所述第二辅助层内形成彼此分隔开且每个都具有比所述第一宽度宽的第二宽度的第二酸扩散区，以及在所述第一辅助层内形成彼此分隔开且每个都具有比所述第一宽度窄的第三宽度的第三酸扩散区，其中，所述第一辅助层、所述第二辅助层和所述第三辅助层中的每个中混入有用于激发酸扩散的添加剂，通过调节用于控制酸扩散的所述添加剂含量来控制所述第一酸扩散区、所述第一酸扩散区和所述第三酸扩散区各自的宽度；分别去除所述第一酸扩散区至所述第三酸扩散区，形成彼此以所述第三宽度的间距分隔开的第一辅助图案，形成处在各个所述第一辅助图案上且彼此以所述第二宽度的间距分隔开的第二辅助图案，以及形成处在各个所述第二辅助图案上且彼此以所述第一宽度的间距分隔开的第三辅助图案；在所述第一辅助图案之间形成第一硬掩模图案，并且在各个所述第三辅助图案下方的所述第二辅助图案的每个的侧壁上形成第二硬掩模图案；去除所述第三辅助图案以暴露所述第二辅助图案；去除所述第二辅助图案和在所述第一硬掩模图案与所述第二硬掩模图案之间暴露的所述第一辅助图案的一些；以及去除因所述第二辅助图案的去除而暴露出的所述第一辅助图案的一些。