基于分束偏折结构的小光斑离轴对准系统

摘要

一种用于光刻设备的对准系统，在成像模块中具有分束偏折结构，用于使对准标记各标记分支的+1级光和-1级光均发生分束和偏折，然后分别相干成像在参考光栅的子光栅上。对准时，根据所扫描的标记分支，有选择地使用对应的参考子光栅上信号。采用这种结构，既能保留了小光斑照明技术引入噪声小，对准精度高的优点，又解决了参考子光栅兼容性所带来的问题。

主权项

一种用于光刻设备的对准系统，包括：提供对准照明光束的光源与照明模块；对对准标记进行成像的成像模块；参考光栅；采集透过参考光栅的光强信号并进行处理的信号采集处理模块；承载其上具有对准标记的硅片的运动台；采集承载硅片的运动台的位置信息，并与对准操作与管理模块进行同步谈判，规划运动轨迹，控制运动台运动的位置采集与运动控制模块；和接收信号采集处理模块和位置采集与运动控制模块的信号的对准操作与管理模块，其特征在于：所述成像模块具有分束偏折结构，用于使对准标记各标记分支的+1级光分束后的两束光中的一束光和各标记分支的‑1级光分束后的两束光中的一束光发生偏折，然后相干成像在参考光栅的子光栅上。