透明导电性薄膜

主权项

一种透明导电性薄膜，其特征在于：其系具有薄膜基材、及形成于该薄膜基材上之铟锡氧化物之多晶层者，且上述多晶层于厚度方向上具有氧化锡之浓度梯度，上述多晶层之厚度方向中之氧化锡浓度之最大值为6重量%~12重量%，上述多晶层之厚度为10nm~35nm，且构成上述多晶层之晶粒之最大直径之平均值为380nm~730nm。