| 发明名称 | 半导体工具系统、用于分配产品资产的方法、及用于半导体制程的设备 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI472887 | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
| 申请号 | TW098107265 | 申请日期 | 2009.03.06 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 杉岛健治;巴特尔 苏克奇 珍巴哈尹;卡奇尔 沙尹夫 |
| 分类号 | G05B13/00;H01L21/00 | 主分类号 | G05B13/00 |
| 代理机构 | 代理人 | 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 | |
| 主权项 | 一种半导体工具系统，包括：用以制备产品的工具组，该工具组中的每一个工具产生产品资产，该产品资产促进该产品的制备；自主学习系统组，每一个自主学习系统常驻于该工具组的每一个工具中，并且使每一个工具的性能最佳化；以及相异的自主学习系统，从该工具组接收已包装的资料，并且产生使该产品的制备最佳化的知识，其中，该产品的最佳化制备包括藉由后向链结所最佳化的制备制程，用于产品劣化的该后向链结包含根据该产品劣化对工具组中的每一个工具进行分级，以及该产品的最佳化制备包括学习预测零件组的故障。 | ||
| 地址 | 日本 | ||