发明名称 真空密封射频及低频导通致动器
摘要
申请公布号 TWI473537 申请公布日期 2015.02.11
申请号 TW097148586 申请日期 2008.12.12
申请人 兰姆研究公司 发明人 布朗 丹尼;罗尼 亚伦;沙图 亚瑟;达芬提 约翰;夏普勒斯 李奥纳多
分类号 H05H1/30 主分类号 H05H1/30
代理机构 代理人 许峻荣 新竹市民族路37号10楼
主权项 一种线性致动器,包含:一致动器本体,具有一第一部及一第二部,各沿该致动器本体之一纵轴而设置;一真空伸缩囊,同中心地位于该致动器本体之该第一部内,该真空伸缩囊用以密封一连通于该真空伸缩囊内之真空环境,而隔开该致动器本体之该第二部;一线性运动轴,同中心地大体上位于该致动器本体内,且用以沿该致动器本体之该纵轴朝一线性方向移动,该线性运动轴之一导电部用以接收及传送一信号,该导电部同中心地大体上位于该真空伸缩囊内且与该真空伸缩囊电绝缘,该线性运动轴之一上升力产生部同中心地大体上位于该致动器本体之该第二部内;以及一电接触垫,与该线性运动轴之该导电部作电交流,且用以在启动该线性运动轴之时电耦接至另一表面。
地址 美国