薄膜式热电转换元件及其制作方法

主权项

一种薄膜式热电转换元件，包括：一包括中空区域之柱状结构主体，系由复数个环状之薄膜式热电转换单元堆叠而成，其中每一薄膜式热电转换单元至少包括复数个环状排列在一环状基板上之热电薄膜组，且各热电薄膜组包括一P型热电薄膜和一N型热电薄膜；及一绝缘导热层，分别覆盖该柱状结构主体之中空区域的内壁和柱状结构主体的外壁，其中该薄膜式热电转换元件之冷端或热端系分别设置于该包括中空区域之柱状结构主体之中空区域或中空区域之柱状结构主体的外侧，其中各下层薄膜式热电转换单元之P型热电薄膜和N型热电薄膜的顶部表面直接接触上层薄膜式热电转换单元之环状基板的下表面，且其中同一层之P型热电薄膜和N型热电薄膜沿着平行该环状基板之表面方向交错排列。