主权项 |
一种奈米压印设备(1),其包含:一带有一具图案周围表面(11)的第一旋转安装式滚筒(10),用以藉由将该具图案周围表面(11)与一可变形基板(20)相接触来将一来自该第一旋转安装式滚筒(10)之图案传送至该基板(20);一带有一面朝向该第一旋转安装式滚筒(10)之具图案周围表面(11)之主要平坦周围表面(31)的第二旋转安装式滚筒(30),该第二旋转安装式滚筒(30)是被旋转连接至第一旋转安装式滚筒(10),用以得到该二滚筒(10、30)之同步旋转动作;基板(20)是于该二滚筒(10、30)之间移动,使得当该二滚筒(10、30)相对于彼此而旋转时,第一旋转安装式滚筒(10)之具图案周围表面(11)能够与该基板(20)相接触,于是,该图案从具图案周围表面(11)传送至基板(20);其中该第二旋转安装式滚筒(30)包含一用于一具有些许压力之介质的管形孔穴(32),该孔穴(32)的一壁面是由一薄膜(33)所组成,该薄膜之一面朝向离开孔穴(32)的一侧边组成该主要平坦周围表面(31)。 |