| 摘要 |
Состав для химико-механического полирования, содержащий аэросил, травитель и воду, отличающийся тем, что состав содержит аэросил, модифицированный оксикарбоновыми кислотами, а в качестве травителя содержит соляную кислоту с хромовым ангидридом в весовом соотношении соответственно 1:60 при следующем соотношении компонентов, вес %: |
