| 摘要 |
1. Рентгеношаблон, содержащий опорное кольцо, прикрепленную к нему несущую мембрану со сформированным на ее рабочей поверхности топологическим ренгенопоглощающим рисунком, отличающийся тем, что опорное кольцо содержит участок «плавного перехода», выполненный из того же материала, что и опорное кольцо, и примыкающий к внутренней боковой стенке опорного кольца и несущей мембране.2. Способ изготовления рентгеношаблона, включающий в себя процессы создания высокого класса чистоты рабочей поверхности исходной подложки тонкой неорганической пленки (в последующем выполняющей роль несущей мембраны шаблона), формирования поверх нее резистивной маски и через маску металлического маскирующего слоя, изготовления опорного кольца из исходной подложки, отличающийся тем, что исходную подложку выполняют в виде цельнометаллической шайбы переменного сечения с участком «плавного перехода» и тонкой центральной частью, которую удаляют химическим травлением на финальной стадии изготовления рентгеношаблона.3. Рентгеношаблон по п.1, отличающийся тем, что на рабочей поверхности несущей мембраны непосредственно в области проекции внутреннего края опорного кольца располагается по обе стороны проекции (т.е. перекрывающий ее) упрочняющий кольцеобразный элемент в виде элемента маскирующего слоя.4. Рентгеношаблон по п.3, отличающийся тем, что упрочняющий кольцеобразный элемент выполнен из резиста.5. Рентгеношаблон по п.1, отличающийся тем, что материалы опорного кольца несущей мембраны и маскирующего слоя подбираются с близкими значениями соответствующих коэффициентов линейного теплового расширения (КТР). |
