| 摘要 |
1. Способ изготовления термоанемометра, заключающийся в том, что на поверхность модели наклеивают диэлектрическую пленку из полиимида с металлизированными чувствительными элементами и выводами, отличающийся тем, что для измерения температуры в диапазоне 25°-300°C чувствительные элементы термоанемометра и его электрические выводы формируют методом многоэтапного испарения металла в вакууме, для этого очищают поверхности диэлектрической пленки из полиимида и металлов этиловым спиртом, помещают в вакуум при давлении 5·10-8-10мм рт.ст., поверхность пленки активизируют при помощи тлеющего разряда, далее проводят электровакуумное напыление продолжительностью 0,25-0,3 мин при силе тока 550-600 мА на поверхности пленки в вакууме через две маски и формируют чувствительные элементы и электрические выводы, причем до металлизации пленку натягивают так, чтобы она приобрела форму мембраны, и нагревают ее до температуры 180-200°C, окончательно металлизацию осуществляют при давлении в камере 10мм.рт.ст. продолжительностью 0,45-0,5 мин при силе тока 230-240 мА с обеспечением необходимой прочности адгезии металлического покрытия.2. Способ изготовления термоанемометра по п. 1, отличающийся тем, что прочность адгезии металлизированной пленки определяют, припаивая к напыленной пленке провод, нагружают провод силой до 40÷50 н/м перпендикулярно поверхности модели, выбраковывают термоанемометр в случае отслоения чувствительного элементы от поверхности модели.3. Способ изготовления термоанемометра, заключающийся в том, что на поверхности модели напыляют чувствительные элементы с выводами из металла, отличающийся тем, что для измерения температур |
