Abbildungsvorrichtung mit reflektiver Fokussieroptik, Laserbearbeitungseinheit und reflektives Fokussierspiegelelement

摘要

Abbildungsvorrichtung (7), aufweisend: eine Lichtleitfaser (3) mit einer Faseraustrittsfläche (4), aus der ein Laserstrahl (2) divergent austritt, und eine reflektive Fokussieroptik, die den divergenten Laserstrahl (2) in einen Fokuspunkt (6) abbildet, wobei die reflektive Fokussieroptik durch ein einziges reflektives Fokussierspiegelelement (8) gebildet ist, dessen Spiegeloberfläche (9) für eine Punkt-zu-Punkt-Abbildung der Faseraustrittsfläche (4) auf den Fokuspunkt (6) ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Spiegeloberfläche (9) durch eine auf ein Spiegelsubstrat (10) aus einem für die Laserstrahlung transparenten Material aufgebrachte Spiegelbeschichtung (11) gebildet ist und dass die Spiegelbeschichtung (11) und das Spiegelsubstrat (10) zumindest teiltransmittiv für einen von der Laserwellenlänge unterschiedlichen und zur Beobachtung geeigneten Spektralbereich sind.