| 摘要 |
本発明の主題は、特に屈折性または回折性光学装置を製造するための方法であり、この方法は、複数の踏み段（１００）を有する階段プロファイルによって近似された少なくとも１つの傾斜付き全体プロファイル（１１０）の、第１の層（１０）における生成を含み、プロファイル（１１０）の生成は、第１の層（１０）の上にバッファパターン（２１）を形成するステップと、後述するステップを含むステップの少なくとも１つのシーケンスとを含み、後述するステップとは、マスキングパターン（４０ａ、５０ａ、６０ａ）を形成するステップであって、それぞれのマスキングパターン（４０ａ、５０ａ、６０ａ）が、バッファパターン（２１）の上方に位置する少なくとも１つのエッジ（４０ｂ、４０ｃ、５０ｂ、５０ｃ、６０ｂ、６０ｃ）を有しており、バッファパターン（２１）によってマスクされていない第１の層（１０）の少なくとも１つの領域を被覆するように実行され、かつ、第１の層（１０）に対し、マスキングパターン（４０ａ、５０ａ、６０ａ）によってまたはバッファパターン（２１）によってマスクされていない複数の自由領域（２０ｂ、３０ａ）を画定するようにも実行される、ステップと、第１の層（１０）において溝を形成するために、自由領域（２０ｂ、３０ａ）をエッチングするステップと、であり、プロファイル（１１０）の生成は、また、マスキングパターン（４０ａ、５０ａ、６０ａ）を除去するステップと、バッファパターン（２１）を除去して、バッファパターン（２１）によって以前に被覆されていた壁部（１０ａ）を明らかにするステップと、壁部を除去するために等方性エッチングを行うステップとを含む。 |
