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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beladen eines Rohlings aus Quarzglas mit Wasserstoff, wobei das Beladen zwei Schritte umfasst, wobei in dem ersten Schritt der Rohling bei einer ersten Temperatur (T1) und einem ersten Wasserstoff-Partialdruck (p1) und in dem zweiten Schritt bei einer zweiten, von der ersten verschiedenen Temperatur (T2) und einem zweiten, vom ersten verschiedenen Wasserstoff-Partialdruck (p2) beladen wird, wobei die erste und zweite Temperatur (T1, T2) kleiner als eine Grenztemperatur (TL) sind, bei der eine thermische Bildung von Silan in dem Quarzglas des Rohlings einsetzt. Die Erfindung betrifft auch ein Linsenelement, welches aus einem solchen Rohling hergestellt ist, sowie ein Projektionsobjektiv mit mindestens einem solchen Linsenelement. |
