| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Isolierung und Abdichtung von Elektrodenhalterungen in CVD Reaktoren, umfassend eine zur Aufnahme eines Filamentstabs geeignete Elektrode auf einer Elektrodenhalterung aus einem elektrisch leitfähigen Material, die in einer Aussparung einer Bodenplatte angebracht ist, wobei zwischen Elektrodenhalterung und Bodenplatte ein elektrisch isolierender Ring aus einem Werkstoff mit einer spezifischen Wärmeleitfähigkeit bei Raumtemperatur von 0,2 - 200 W/mK, einer Dauertemperaturbeständigkeit von größer oder gleich 300°C und einem spezifischen elektrischen Widerstand bei Raumtemperatur von größer als 10Λ9Ωcm vorgesehen ist, wobei der elektrisch isolierende Ring Nuten umfasst, in denen zwei O-Ringe aus einem elastomeren Werkstoff fixiert sind, sowie ein Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Silicium.</p> |
