Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahls geladener Teilchen, mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung, Vorrichtung zur Erzeugung einer Hochspannung und mit einem hohen Potential arbeitende Vorrichtung

摘要

Ein einen Strahl geladener Teilchen erzeugendes Instrument gemäß der vorliegenden Erfindung ist mit Folgendem versehen: einer Quelle geladener Teilchen, mehreren entlang einer Einstrahlungsrichtung geladener Teilchen von der Quelle geladener Teilchen angeordneten ersten Elektroden, mehreren Isolationselementen, die zwischen den ersten Elektroden angeordnet sind, und einem Gehäuse, das um die mehreren ersten Elektroden montiert ist. Das Gehäuse besteht aus einem isolierenden festen Material und weist mehrere zweite Elektroden auf, die an Positionen in der Nähe der mehreren ersten Elektroden angeordnet sind. Wenigstens eine der mehreren zweiten Elektroden ist mit wenigstens einer der mehreren ersten Elektroden elektrisch verbunden, wobei jede der mehreren zweiten Elektroden das gleiche Potential aufweist wie die nahe gelegene der ersten Elektroden.