Vorrichtung zum Erzeugen beschleunigter Elektronen

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen beschleunigter Elektronen, umfassend ein Gehäuse (101), welches einen evakuierbaren Raum (102a; 102b) begrenzt und ein Elektronenaustrittsfenster (104) aufweist; einen Einlass für das Zuführen eines Arbeitsgases in den evakuierbaren Raum (102); mindestens eine erste Kathode (105a; 105b) und mindestens eine erste Anode (101), zwischen denen mittels einer ersten angelegten elektrischen Spannung ein Glimmentladungsplasma (106) im evakuierbaren Raum (102a) erzeugbar ist, wobei Ionen aus dem Glimmentladungsplasma (106) auf die Oberfläche (110) einer zweiten Kathode (107) beschleunigbar sind und von der zweiten Kathode (107) emittierte Elektronen mittels einer zwischen der zweiten Kathode (107) und einer zweiten Anode (108) angelegten zweiten elektrischen Spannung in Richtung Elektronenaustrittsfenster (104) beschleunigbar sind, wobei das Gehäuse (101), die zweite Kathode (107) und das Elektronenaustrittsfenster (104) ringförmig ausgebildet sind und wobei die Oberflächensenkrechten des Elektronenaustrittsfensters (104) und des Oberflächenbereichs (110) der zweiten Kathode (107), aus dem Elektronen emittiert werden, zum Ringinneren des ringförmigen Gehäuses (101) ausgerichtet sind.