| 发明名称 | 微制造的原子磁力仪以及形成方法 | ||
| 摘要 | 通过以下步骤减小原子磁力仪(图2,200)的成本和尺寸：将具有蒸汽单元腔体(242)的蒸汽单元结构(240)附连到具有激光源(286)的基底管芯(270)，该激光源(286)将光输出到蒸汽单元腔体；以及附连具有光电二极管(214)的光电检测管芯(210)，该光电二极管(214)与蒸汽单元结构垂直对齐以检测来自激光源的、穿过蒸汽单元腔体的光。 | ||
| 申请公布号 | CN104335060A | 申请公布日期 | 2015.02.04 |
| 申请号 | CN201280060708.5 | 申请日期 | 2012.12.07 |
| 申请人 | 德克萨斯仪器股份有限公司 | 发明人 | W·弗兰茨;P·林多弗;P·J·霍波;P·罗兹宾;A·J·韦斯特;B·J·R·舒勒尔 |
| 分类号 | G01R33/02(2006.01)I | 主分类号 | G01R33/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 一种磁力仪，其包含：蒸汽单元管芯，其具有衬底以及接触所述衬底的蒸汽腔体，所述蒸汽腔体被气密密封；以及附连到所述蒸汽单元管芯的基底管芯，所述基底管芯具有衬底、附连到所述基底管芯的所述衬底的激光源以及附连到所述基底管芯的所述衬底的集成电路，所述集成电路电气连接到所述激光源。 | ||
| 地址 | 美国德克萨斯州 | ||